超精密三軸平臺
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 行程(mm) | X軸:200 Y軸：100 |
| 最大負載（kg） | X軸:30 Y軸：20 |
| 定位精度(um) | X軸:±0.35 Y軸：±0.35 |
| 雙向重復定位精度(um) | X軸:±0.2 Y軸：±0.2 |
| 直線度(um) | X軸:±2.5 Y軸：±2 |
| 平面度(um) | X軸:±2.5 Y軸：±2 |
| 正交性(arc sec) | X軸:10 Y軸：10 |
| 最大速度(mm/s) | X軸:50 Y軸：50 |
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