超高精度XY平臺
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 負載（Kg） | X軸：30 Y軸：X軸自重+30 |
| 最大速度（mm/s） | X軸：1000 Y軸：500 |
| 最大加速度（G） | X軸：1 Y軸：1 |
| 有效行程（mm） | X軸：600 Y軸：200 |
| 重復精度（μm） | X軸：±0.2 Y軸：±0.15 |
| 定位精度（μm） | X軸：±0.3 Y軸：±0.25 |
| 平面度（μm） | X軸：±1.8 Y軸：±0.6 |
| 直線度（μm） | X軸：±0.65 Y軸：±0.5 |
| 驅動方式 | X軸：直線電機 Y軸：直線電機 |
| 反饋方式 | X軸：光柵尺 Y軸：光柵尺 |
| 防塵方式 | X軸：上蓋板 Y軸：側防塵帶+上蓋板 |
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