高精度龍門雙驅平臺
設備信息 FEATURES
設備參數 PARAMETER
| 技術指標 | 數據 |
| 負載（Kg） | X軸：100 Y軸（雙驅）：350 Z軸：50 |
| 最大速度（mm/s） | X軸：200 Y軸（雙驅）：200 Z軸：50 |
| 最大加速度（G） | X軸：0.2 Y軸（雙驅）：0.2 Z軸：0.05 |
| 有效行程（mm） | X軸：680 Y軸（雙驅）：800 Z軸：50 |
| 重復精度（μm） | X軸：±3 Y軸（雙驅）：±3 Z軸：±3 |
| 定位精度（μm） | X軸：±5 Y軸（雙驅）：±5 Z軸：±5 |
| 平面度（μm） | X軸：±15 Y軸（雙驅）：±15 Z軸：±2.5 |
| 直線度（μm） | X軸：±4 Y軸（雙驅）：±4 Z軸：±2.5 |
| 驅動方式 | X軸：直線電機 Y軸（雙驅）：直線電機 Z軸：滾珠絲杠+伺服電機 |
| 反饋方式 | X軸：光柵尺 Y軸（雙驅）：光柵尺 Z軸：伺服編碼器 |
| 防塵方式 | X軸：側防塵帶+上蓋板 Y軸（雙驅）：側防塵帶+上蓋板 Z軸：風琴式防護罩 |
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